Zuverlässige Systeme durch passive Siliziumbauelemente

In leistungselektronischen Modulen werden Netzwerke aus passiven Bauelementen eingesetzt, um die Folgen schneller Schaltvorgänge abzudämpfen. Die monolithische Integration eines solchen RC-Netzwerks auf einem Siliziumsubstrat ermöglicht es, für dessen Aufbau auf dem Leistungsmodul die gleichen Techniken anzuwenden, wie sie für die aktiven Bauelemente des Moduls verwendet werden.