Deflectometric metrology of small optical surfaces – DOMES

In der Fertigung von Präzisionsoptiken werden meist Interferometer zur Messung von Form- und Oberflächenfehlern verwendet. Bei stark konvexen Flächen sowie Asphären und Freiformen kommt diese Methode jedoch an seine Grenzen. Hier werden aufwendige Zusatzelemente wie Computergenerierte Hologramme (CGH) oder teure Messmaschinen nötig. Bei flachen Radien ist mittlerweile in der Literatur das sogenannte Deflectometric acquisition of Optical Surface-Verfahren DaOS beschrieben. Die Winkelmessbereiche der V-SPOT-Sensoren sind jedoch relativ gering.