2D Inline-Qualitätssicherung für NbTiN-Schichten zur Leistungs- und Yield-Steigerung von SNSPDs– 2D Inline
Im Rahmen dieses Projektes soll eine elektrische 2D-Charakterisierung von supraleitenden Detektorschichten bei Raumtemperatur mit der sog. Conductive Atomic Force Microscopy (CAFM) entwickelt werden, um die Kryo-Performance von supraleitenden Nano-Draht Single-Photon Detektoren (SNSPD) in Bezug auf Homogenität, Reproduzierbarkeit und Ausbeute (Yield) zu erhöhen.






