Im Rahmen dieses Projektes soll eine elektrische 2D-Charakterisierung von supraleitenden Detektorschichten bei Raumtemperatur mit der sog. Conductive Atomic Force Microscopy (CAFM) entwickelt werden, um die Kryo-Performance von supraleitenden Nano-Draht Single-Photon Detektoren (SNSPD) in Bezug auf Homogenität, Reproduzierbarkeit und Ausbeute (Yield) zu erhöhen.
Durch diese zweidimensionale elektrische Charakterisierung soll ein besseres Verständnis der lokalen Zusammensetzung der Metallschicht auf einem Wafer, insbesondere im Detektorbereich, gewonnen werden. Idealerweise soll diese Charakterisierungsmethode zukünftig auf Wafer-Ebene durchgeführt werden und als Inline-Kontrolle dienen. Als Ergebnis werden definierte Raumtemperatur-Qualitätsmetriken, ein Prozessfenster für die Herstellung und eine Pilot-QC-Routine für den Technologietransfer vom Labor in die Produktion erarbeitet.